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        在激光加工晶體材料時，將晶片切割成晶圓是很常見的。晶片激光切割是一種精密加工，對切割質量要求很高。

       激光作用于材料的熱效應可以熔化和氣化晶片材料，但這種熱效應也可能在晶片上產生無法控制的裂紋，甚至破壞材料的微結構。因此，晶片的冷加工方法已成為提高晶片切割質量的有效途徑。這里的冷加工是指激光對材料的熱效應很小，不會破壞晶片的表面形狀甚至微結構。        控制斷裂切割的常用方法，一般選擇YAG激光作為激光源。該激光切割機要求在晶片上劃出裂紋，然后通過激光在材料上產生的熱應力可控地切割晶片。該切割機制下的激光功率較小，對晶片的熱影響有限，可以獲得更好的切割質量。        另一種方法是通過更換激光源來提高切割質量，即選擇紫外激光。YAG激光和CO2激光不同，紫外激光通過直接破壞晶片材料的化學鍵達到切割目的，這是一個冷過程，熱影響區域小，另外紫外激光的波長短、能量集中且切縫寬度小。紫外激光切割晶片時，需要輔助氣體將切屑清除，一般選用氮氣或惰性氣體。       由于輔助氣體對切割區域的冷卻作用可以減少熱影響區域，輔助氣體可以用液體代替，以提高切割質量。微水刀激光加工(laser-microjet)就是這樣的切割技術。